光纖型化學藥液濃度計
CS-600F
CS-600F 提供適合生產的更高級功能,如在各種應用中對高溫化學藥液進行在線測量的能力,減少停機時間的穩定運行,以及提高空間生產率的緊湊尺寸,以滿足先進半導體濕法制程所需的準確化學藥液濃度管理。
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尺寸更小,布局更靈活
CS-600F 濃度計尺寸緊湊,與成熟型號(CS-100F1 系列)相比,高度降低 36%,體積減少 40%,樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。
光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝,支持根據化學藥液單元和清洗設備的位置靈活安裝。
高溫化學溶液(20 至 80℃)的高穩定性在線測量
新的光學系統和改進的處理算法支持在線測量高溫化學藥液,這是先進濕法制程的關鍵一步。這消除了冷卻化學樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩定性高,實現了更有效和準確的化學藥液管理。
背景校正頻率顯著降低
與成熟型號(CS-100F1系列)相比,定期校正頻率顯著降低,這反過來又顯著減少了機臺停機時間,有助于提高產量。
單臺濃度計可測量多達六種化學藥液(藥液種類或濃度范圍)
單臺濃度計可測量多達六種化學藥液(藥液種類或濃度范圍)。可自由確定藥液類型和濃度范圍,CS-600F 保證滿足各種檢測要求。
可輸出多達六種組分的測量值(串行輸出)
成熟型號(CS-100F1 系列)可輸出四種組分的測量值(串行輸出)。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分,而CS-100F1型號為兩種。